40nm 패턴 형성 웨이퍼

국내 반도체 소부장 기업들은 나노종합기술원(종기원)의 12인치 테스트베드를 활용해 반도체 핵심소재 성능 테스트를 신속하게 지원받을 수 있게 됐다.

16일 과학기술정보통신부는 국내 최초로 종기원에 12인치 반도체 테스트베드(이하 12인치 테스트베드) 구축을 완료하고, 17일부터 국내 산·학·연 이용자에게 공식서비스를 시작한다고 밝혔다.

반도체 생산용 소재·부품은 지난 2019년 7월 일본의 수출규제에 따라 우리나라에 소재·부품·장비(이하 소부장) 기술자립화에 대한 경각심을 불러일으킨 대표품목이다.

일본 수출규제 이전에도 국내 반도체 소부장 기업들은 대기업 생산환경과 유사한 12인치 테스트베드가 국내에 없어 대기업 납품에 필요한 수준의 평가결과를 획득하는데 많은 애로가 있었다.

이에 대부분의 중소기업들은 많은 비용과 시간을 들여 해외 테스트베드를 이용하거나, 종기원의 8인치 장비를 활용한 기초평가 수준에서 만족할 수 밖에 없는 상황이었다.

과기정통부는 이러한 문제를 해결하기 위해 지난 2019년 8월 종기원을 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정하고 청정실과 핵심장비 구축, 장비안정화 작업을 신속히 추진해 이번에 공식서비스를 개시하게 됐다.

이조원 종기원 원장은 "현재 12인치 테스트베드는 40nm 패턴웨이퍼 제작이 가능한 인프라로, 반도체 핵심소재와 장비개발을 집중 지원할 예정"이라며, "향후 20nm급 패턴웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축 및 공정기술 개발을 추진할 계획"이라고 말했다./여한식 기자